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設(shè)計(jì)說明
銅 獎(jiǎng)
雙軸劃片機(jī)在硅片切割、晶圓切割以及特殊切割等加工過程中,
主要以伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠的方式帶動(dòng) Y 軸(包括第一 Y 軸和第
二 Y 軸)進(jìn)行運(yùn)動(dòng),由于伺服電機(jī)傳動(dòng)、滾珠絲杠和設(shè)備加工件本
身均存在一定的誤差,因此需要使用光柵尺位移傳感咕咕對(duì)雙軸劃
片機(jī)的 Y 軸進(jìn)行誤差補(bǔ)償,從而實(shí)現(xiàn)精度校準(zhǔn)。目前,現(xiàn)有雙軸劃
片機(jī)訂采用兩個(gè)第一 Y 軸和第二 Y 軸各自精度校準(zhǔn)的方式,即先將
標(biāo)定尺放置在工作臺(tái)上,線紋尺固定后,分別用第一 Y 軸和第二 Y
軸上顯微鏡查看標(biāo)定尺的刻度線,將線紋尺刻度與顯微鏡基準(zhǔn)線對(duì)
準(zhǔn)后,Y 軸伺服電機(jī)進(jìn)行分度步進(jìn)運(yùn)動(dòng),每次步進(jìn)運(yùn)動(dòng)中如存在誤差,
通過顯微鏡成像效果對(duì)誤差進(jìn)行補(bǔ)償與調(diào)整,從而實(shí)現(xiàn) Y 軸精度對(duì)
準(zhǔn)。但是,現(xiàn)有雙軸劃片機(jī)采用第一 Y 軸和第二 Y 軸各自精度對(duì)準(zhǔn)
的方式,對(duì)準(zhǔn)后第一 Y 軸和第二 Y 軸的偏差較大,從而影響設(shè)備切
割精度;同時(shí)由于采用雙軸各自對(duì)準(zhǔn)的方式,在 Y 軸精度調(diào)整試前
需準(zhǔn)備兩組顯微鏡,調(diào)試成本較高,而且安裝兩組顯微鏡耗時(shí)較長(zhǎng),
因此設(shè)計(jì)了一種雙軸劃片機(jī)的 Y 軸精度對(duì)準(zhǔn)組件及對(duì)準(zhǔn)方法,以解
決現(xiàn)有雙軸劃片機(jī)的兩個(gè) Y 軸對(duì)準(zhǔn)精度存在偏差縣城對(duì)準(zhǔn)成本高的
問題。
本方法包括;補(bǔ)光柵工裝、圖像采集單元和控制單元;在第一
Y 軸與固定在工作臺(tái)上的標(biāo)定尺對(duì)準(zhǔn)后,在第二 Y 軸上安裝雙軸聯(lián)
動(dòng)補(bǔ)光柵工裝,通過第一 Y 軸上的圖像采集單元尋找安裝在第二 Y
軸上的雙軸聯(lián)動(dòng)補(bǔ)光柵工裝上的高精密玻璃尺為基準(zhǔn)點(diǎn),以雙軸聯(lián)
動(dòng)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)方式,采用高精密玻璃尺為基準(zhǔn)點(diǎn),通過控制單元對(duì)第
一第二 Y 軸存在的差值進(jìn)行補(bǔ)償,將 Y 軸精度進(jìn)行對(duì)準(zhǔn),對(duì)準(zhǔn)精度
可達(dá) ±1μm,減小了現(xiàn)有技術(shù)中雙軸各自補(bǔ)償方式產(chǎn)生的誤差,有
效的提升了雙軸劃片機(jī)的切割精度。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,補(bǔ)光柵工裝可
調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),更便于調(diào)試著對(duì) Y2 軸進(jìn)行精度對(duì)準(zhǔn),與 Y2 軸安裝顯微
鏡方式對(duì)比,更加節(jié)省時(shí)間,節(jié)約調(diào)試成本。
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雙軸劃片機(jī)的Y軸精度對(duì)準(zhǔn)組件及對(duì)準(zhǔn)方法