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半導(dǎo)體材料企業(yè) CMP 材料-行業(yè)定位/業(yè)務(wù)方向 國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展
吉致電子科技有限
公司
專注于研發(fā)化學(xué)機(jī)械拋光耗材的領(lǐng)域，吉致主要研發(fā)兩大類產(chǎn)品有“拋
光墊”“拋光液”。 產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于金屬，光電，半導(dǎo)體，陶瓷，硬
盤面板顯示器等需要精密研磨拋認(rèn)證光的行業(yè)，廣泛用于平面拋光領(lǐng)域。
上海芯謙集成電路
有限公司
主要從事半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光耗材的生產(chǎn)與研發(fā)，致力于成為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先
的CMP耗材生產(chǎn)研發(fā)公司，是國(guó)內(nèi)第一批研發(fā)并量產(chǎn)8吋和12吋CMP拋
光墊，
有月年產(chǎn)10萬(wàn)片的半導(dǎo)體用拋光墊生產(chǎn)線投產(chǎn)運(yùn)營(yíng)
合肥宏光研磨科技
有限公司
是國(guó)內(nèi)光學(xué)玻璃及工藝玻璃磨具制造行業(yè)新興的高科技企業(yè)，開發(fā)有
CMP拋光墊產(chǎn)品。
萬(wàn)樺（常州）新材
料科技有限公司，
是一家具有現(xiàn)代新型管理模式和強(qiáng)大技術(shù)實(shí)力的聚氨酯（PU）新材料
的綠色環(huán)保新型企業(yè)，是?家集研發(fā)、?產(chǎn)、檢測(cè)、營(yíng)銷為?體的新型
企業(yè)，
萬(wàn)華化學(xué)集團(tuán)電子
材料有限公司
建設(shè)有大規(guī)模集成電路平坦化關(guān)鍵材料（CMP Pad + slurry）項(xiàng)目：研磨
液和CMP 拋光墊。萬(wàn)華化學(xué)具有聚氨酯原料基礎(chǔ)和技術(shù)儲(chǔ)備。
該相關(guān)項(xiàng)目投資15.7億元，達(dá)產(chǎn)年，研磨液產(chǎn)量1.5~2萬(wàn)噸
/年，CMP 拋光墊產(chǎn)量60萬(wàn)片/年。
興硅科技（江蘇）
有限公司
有項(xiàng)目總投資45.9億元建設(shè)月產(chǎn)10000張研磨墊及500噸研
磨液項(xiàng)目。
寧波贏偉泰科新材
料有限公司
是一家高新電子材料開發(fā)制造企業(yè)，專業(yè)從事半導(dǎo)體芯片制造用化學(xué)機(jī)
械拋光工藝耗材的研發(fā)及生產(chǎn)，主要產(chǎn)品為化學(xué)機(jī)械拋光墊和保持環(huán)兩
大系列。贏偉泰科為江豐電子的關(guān)聯(lián)公司。
半導(dǎo)體材料企業(yè) 光刻膠-行業(yè)定位/業(yè)務(wù)方向 國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展
南大光電 江蘇南大光電材料股份有限公司是一家專業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生
產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。先后攻克了國(guó)家 863 計(jì)劃 MO 源全系列產(chǎn)品
產(chǎn)業(yè)化、國(guó)家“02專項(xiàng)”高純電子氣體（砷烷、磷烷）研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、
ALD/CVD 前驅(qū)體產(chǎn)業(yè)化等多個(gè)困擾我國(guó)數(shù)十年的項(xiàng)目，填補(bǔ)了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)
空白ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”
研發(fā)的產(chǎn)品成為國(guó)內(nèi)通過產(chǎn)品驗(yàn)證的第一只國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠，
。目前公司產(chǎn)品已在下游客戶存儲(chǔ)芯片50nm和邏輯芯片
55nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品上通過認(rèn)證。ArF光刻膠目前主要聚
焦28cm-90nm工藝節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品驗(yàn)證
晶瑞電材 國(guó)內(nèi)光刻膠先驅(qū)，專業(yè)從事微電子化學(xué)品的產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。我
國(guó)供應(yīng)半導(dǎo)體光刻膠出貨量最大的本土企業(yè)之一。子公司蘇州瑞紅，是
國(guó)內(nèi)少有的既有規(guī)模又有利潤(rùn)的成熟光刻膠企業(yè)，銷售規(guī)模和盈利能力
處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先位置。擁有負(fù)型光刻膠系列、寬譜正膠系列、g 線系列、i
線光刻膠系列、KrF 光刻膠系列等數(shù)十個(gè)型號(hào)產(chǎn)品
正在研發(fā)ArF光刻膠；i線光刻膠已向知名廠商供貨；KrF光
刻膠分辨率達(dá)到了0.25～0.13μm的技術(shù)要求，已通過客戶
測(cè)試；KrF光刻膠生產(chǎn)及測(cè)試線已經(jīng)基本建成。
彤程新材 目前已成為全球最大的輪胎橡膠用特種酚醛樹脂供應(yīng)商，戰(zhàn)略收購(gòu)北京
科華、北旭電子，其中，北京科華微電子是中國(guó)大陸市占率最高的國(guó)產(chǎn)
半導(dǎo)體光刻膠公司，覆蓋KrF、I-line、G-l ine、紫外寬譜的光刻膠及配套
試劑，也是國(guó)內(nèi)為數(shù)不多可以批量供應(yīng)KrF光刻膠給本土8寸和12寸晶圓
廠客戶的廠商
科華微電子KrF光刻膠率先實(shí)現(xiàn)放量，公司率先突破高端
KrF、ArF光刻膠，有望引領(lǐng)國(guó)產(chǎn)替代浪潮并充分受益。有
百噸級(jí)環(huán)化橡膠系紫外負(fù)性光刻膠和千噸級(jí)負(fù)性光刻膠配
套試劑生產(chǎn)線、G/I線正膠生產(chǎn)線（500 噸/年）和正膠配
套試劑生產(chǎn)線（1000 噸/年）、百噸級(jí)248nm光刻膠生產(chǎn)
線。
上海新陽(yáng) 中國(guó)集成電路制造與封測(cè)關(guān)鍵材料龍頭。參與02專項(xiàng)項(xiàng)研發(fā)，已成為多
家集成電路制造公司28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的基準(zhǔn)材料。公司已立項(xiàng)研發(fā)集成
電路制造用高分辨率193nmArF光刻膠及配套材料與應(yīng)用技術(shù)，擁有完
整自主可控知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光刻膠產(chǎn)品
積極推進(jìn)光刻膠ArF、ArF-i研發(fā)驗(yàn)證，KrF光刻膠已批量化
生產(chǎn)銷售。電鍍液及添加劑產(chǎn)品已覆蓋90-14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)，
干法蝕刻后清洗液已經(jīng)實(shí)現(xiàn)14nm以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)全覆蓋。
華懋科技 旗下徐州博康承擔(dān)國(guó)家“02專項(xiàng)”中的子課題“ArF光刻膠單體產(chǎn)品的
開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”、國(guó)內(nèi)公司產(chǎn)品線涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、
193nm/248nm光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品。少有能
實(shí)現(xiàn)光刻膠單體、樹脂、溶劑、成品膠全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)的龍頭企業(yè)
目前有60多款I(lǐng)C光刻膠處于研發(fā)改進(jìn)階段，品類覆蓋i線、
KrF、ArF干法、Arf濕法光刻膠，其中部分產(chǎn)品量產(chǎn)
飛凱材料 致力于為高科技制造提供優(yōu)質(zhì)材料，并努力實(shí)現(xiàn)新材料的自主可控。公
司光刻膠產(chǎn)品目前主要有顯示面板光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠，已開發(fā)出適
用于8吋/12吋晶圓制造的Iline光刻膠
公司KrF光刻膠已有一定的技術(shù)儲(chǔ)備，正在開發(fā)過程中
半導(dǎo)體材料企業(yè) 光刻膠-行業(yè)定位/業(yè)務(wù)方向 國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展
廣信材料 公司致力于開發(fā)生產(chǎn)高品位、高科技含量的感光新材料。有合資公司揚(yáng)
明微電優(yōu)化配置感光材料領(lǐng)域尤其是平板顯示及集成電路光刻膠領(lǐng)域的
核心技術(shù)等資源
江化微 江化微作為我國(guó)國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的，以光刻膠及光刻膠配套試劑等濕電子化學(xué)
品為主要產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)，公司生產(chǎn)的產(chǎn)品是國(guó)內(nèi)為數(shù)不多的能夠適用于
平板顯示、半導(dǎo)體及LED、光伏太陽(yáng)能等多領(lǐng)域的企業(yè)之一。
容大感光 公司主要產(chǎn)品為PCB光刻膠、平板顯示及半導(dǎo)體光刻膠，主要應(yīng)用領(lǐng)域
為電子電路、平板顯示、及半導(dǎo)體等
雅克科技 公司目前光刻膠及配套試劑業(yè)務(wù)包括彩色光刻膠業(yè)務(wù)和TFT-PR光刻膠業(yè)
務(wù)。光刻膠產(chǎn)品主要為面板用光刻膠。其相關(guān)技術(shù)來(lái)源于全資控股的韓
國(guó)UPChemical公司。彩色光刻膠技術(shù)來(lái)源于LG化學(xué)下屬的彩色光刻膠事
業(yè)部（2020年7月份收購(gòu)）。TFT光刻膠及光刻膠輔助材料、BM樹脂等
技術(shù)來(lái)源于韓國(guó)COTEM（202 0年9月份收購(gòu)）
普利特 主要從事高分子新材料產(chǎn)品及其復(fù)合材料的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)。
目前完成了將近十種i線半導(dǎo)體光刻膠的研發(fā)，顯示用TFT光刻膠已經(jīng)研
發(fā)，各種感光性PSPI光刻膠正在研發(fā)中
萬(wàn)潤(rùn)股份 公司光刻膠材料產(chǎn)品主要為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域用光刻膠單體和光刻膠樹脂
產(chǎn)品，相關(guān)產(chǎn)品已經(jīng)實(shí)現(xiàn)供應(yīng)，生產(chǎn)技術(shù)覆蓋大部分主要產(chǎn)品。
亞威股份 完成了對(duì)韓國(guó)WIMAS100%股權(quán)的收購(gòu)。韓國(guó)WIMAS主要從事半導(dǎo)體高
端光刻膠的核心主材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，后期計(jì)劃通過威邁芯材實(shí)
現(xiàn)相關(guān)技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化落地和延伸拓展
強(qiáng)力新材 成為國(guó)內(nèi)少數(shù)從事光刻膠專用電子化學(xué)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的企業(yè)之
一。目前強(qiáng)力新材已在PCB光刻膠專用電子化學(xué)品的細(xì)分市場(chǎng)取得了較
高的市場(chǎng)份額
